測(cè)量顯微鏡，歷是以的倍率把工件形狀放大以后，通過與模板進(jìn)行象面比對(duì)，進(jìn)行測(cè)量、檢查的顯微鏡。為此，與通常的觀察用顯微鏡不同，它采用與輪廓投影儀相同的遠(yuǎn)心光路系統(tǒng)，其物鏡倍率也很。
檢查的主要項(xiàng)目
(1)儀器安裝和使用，應(yīng)對(duì)周圍環(huán)境的安性進(jìn)行檢查，電源、電壓、LED光源、接地線等是否正確、牢固，應(yīng)符和要求。
(2)儀器主要部件運(yùn)動(dòng)性能檢查：
儀器工作臺(tái)、縱、橫滑板導(dǎo)軌、測(cè)微器、顯微鏡臂架導(dǎo)軌升降，測(cè)角度盤轉(zhuǎn)動(dòng)等部件，經(jīng)目力觀察和手動(dòng)試驗(yàn)，須確認(rèn)結(jié)構(gòu)安裝可靠，位置，運(yùn)轉(zhuǎn)性能應(yīng)舒適完，無松動(dòng)阻滯和急跳現(xiàn)象存在。
(3)測(cè)角目鏡的檢查
a.測(cè)量顯微鏡測(cè)角目鏡零位的檢查：
b.測(cè)量顯微鏡測(cè)角目鏡十字線交點(diǎn)與其迥轉(zhuǎn)重合性的檢查;
注意事項(xiàng)
1、密計(jì)量儀器的使用、維護(hù)是技術(shù)性較的工作，對(duì)作人員應(yīng)進(jìn)行業(yè)技能培訓(xùn)，掌握要的作技能和建立要的工作檢查制度。
2、對(duì)儀器要注意正確合理安排使用。儀器的存放地點(diǎn)應(yīng)避免灰塵、潮濕、氣溫突變或含有酸堿性的氣體環(huán)境。
3、儀器的光學(xué)部件有：目鏡、物鏡、玻璃工作臺(tái)等，光學(xué)零件的表面油污灰塵清潔，可用脫脂棉花蘸以少許酒和乙醚混合液，輕輕揩拭，切勿將鏡片擦毛。
4、儀器維護(hù)、保養(yǎng)、調(diào)試，未經(jīng)技術(shù)培訓(xùn)不具備業(yè)技能的人員不得隨意拆卸調(diào)試和清洗加油。若需修理調(diào)試，可向當(dāng)?shù)厣袒蛑苯雍臀夜尽?/div>
5、電源系統(tǒng)出現(xiàn)故障，需先切斷電源，再進(jìn)行檢查。透射照明燈泡需要*換燈泡，拆除底蓋，進(jìn)行檢查*換。
測(cè)量顯微鏡等密計(jì)量儀器都要注意保養(yǎng)和維護(hù)。
近來隨著測(cè)量顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)制作倍率的*加，也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡(jiǎn)易偏光觀察等功能的通用型光學(xué)頭。在高倍率觀察時(shí)，還可以使用FA（輔助對(duì)焦）鏡筒進(jìn)行高度測(cè)量，可以通過縮小視在的景深，提高Z軸方向測(cè)量的重復(fù)度。測(cè)量顯微鏡配上數(shù)碼相機(jī)，還可以拍攝數(shù)碼相片。多種選配功能，使得測(cè)量顯微鏡的應(yīng)用越來越廣。
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